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MF4000
微小量程-质量式气体流量计 / 质量流量计 (Mass Flow Meter / Gas Flow Meter) |
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| MF4000 质量式气体流量计/ 质量流量计 / 热质式流量计 / 热质式质量流量计 |
MF4000 MEMS质量式气体流量计 / 质量流量计 / 热质式流量计 / 热质式质量流量计
MF4000 专为各类小流量气体测量和过程控制设计，适用于各类清洁、干燥气体。量程比达100:1，
配备多种输出信号及通讯接口、LED显示瞬时&累积流量，可替代容积式或压差式的传统流量计，接续管径3mm、8mm
氧气、氮气、氦气、氢气、氩气、压缩气体、甲烷、液化石油气、天然气...等
工业制造业的用气测量及程控、
医疗设备 (如：医疗麻醉与呼吸设备、医院供氧/制氧设备、分床计费系统)
环保领域、食品加工、科学气体分析仪器、楼宇自控、保健设备...等
MEMS是将微电子技术与机械工程融合的一种工业技术；而MF系列气体流量计采用MEMS芯片及专利的封装技术，
相较于传统的热式质量流量计，MEMS质量流量计，体积更轻巧、压力损失小、低功耗、响应速度快、测量结果更精确可靠
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| 质量式气体流量计/质量流量计 技术参数 |
| 型号 |
MF4003 |
MF4008 |
口径 |
3mm |
8mm |
| 最大流量(SLPM) |
2,3,4,5 |
10,20,30,40,50 |
| 量程比 |
100:1 |
| 精确值 |
±(1.5+0.2FS)% |
| 重复性 |
0.25% |
| 零点飘移 |
±30mV |
| 输出飘移 |
±0.12% / ℃ |
| 响应时间 |
10ms(可调) |
电源 |
8~24VDC,50mA |
| 输出信号 |
RS232、RS485、0.5~4.5VDC |
| 最大工作压力 |
0.5MPa |
| 机械接口 |
BSPT 1/4(R1/4)或4mm、6mm、8mm快速接头 |
| 工作温度 |
-10〜55℃ |
| 储存温度 |
-20〜65℃ |
| 工作湿度 |
<95%RH(无结冰、无结露) |
| 应用环境 |
粒子计数器、各类分析仪器 |
麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等 |
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| 质量式气体流量计/质量流量计 资料下载 |
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